中色国电电气有限公司
产品应用
高纯气行业应用

电子气体分析

电子工业气体是专门应用于微电子制造和半导体工业中的气体。例如:薄膜沉积——包括化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)、蚀刻、实时传输、包装或焊接。
 

电子的和半导体的气体包括纯气和特殊用途的混合气,包括晶体的生长,硅片的制造,氧化、热传播和离子植入。

半导体生产中所需的电子和半导体的气体包括:


氨气 (NH3)硅烷 (SiCl4)
六氟化硫(SF6)三氟化氮 (NF3)
氧化亚氮 (N2O)一氧化氮(NO)


以下列举一些可能需要检测的杂质:

Ne, H2 , Ar/O2 , N2 , CH4 , CO , CO2 , N2O, Kr, Xe, 碳氢化合物

用AGC的色谱仪可以达到ppb级的分析水平。

请从我们600系列实验室色谱仪和100系列在线型色谱仪中选择

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